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善准真空等离子清洗机VP-R5详细技术参数

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广州善准科技有限公司真空等离子清洗VP-R系列对标国际一线厂商，补充国内技术短板（低温真空石英腔体等离子清洗装置），VP-R系列频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

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