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214次善准等离子清洗机详细技术参数
名称:等离子清洗机
品牌:广州善准科技有限公司
型号:VP-R3
技术规格:
1、腔体材质:石英玻璃
2、腔体容量:Φ150×200Lmm
3、*射频电源功率:160W
4、*射频频率:13.56MHz
5、频率偏移量:小于0.2KHz
6、等离子体轰击:从四周向中间
7、等离子体激发:触摸屏一键自动启动
8、*腔体内温度:满功率运行30分钟腔体温度<32℃
9、清洗时间:0- 1800 s 可调,精确到1秒
10、功率调节:高中低三档可调
11、显示屏:4.3英寸触摸屏
12、*操作控制:触摸屏控制,并提供中英文两种操作界面
13、气体流量计:高精密2路浮子流量计
14、提供进气通路:两路进气,气体流量 0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,其他混合气体)
15、进气管:两根6x4PU管,尾端配6转6快拧接头
16、泄压:清洗完成自动泄压,泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道(选配)
17、真空泵真空度:0.5Pa
18、抽速:4m³/h
19、噪音:52dB
20、抽真空时间:启动到发出辉光≤50秒
21、*真空检测:数字显示,实时观察腔体真空度状态
22、*泄漏检测:触摸屏上有一键泄漏检测功能
23、冷却方式:强制风冷
24、腔体门:带可视窗高强度铝合金,并在触摸屏上自动识别开/关
25、*真空泵控制:主机与真空泵联动,可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭
26、供电电源:AC220V/50Hz
27、箱体平衡:减震橡胶脚杯
28、机箱尺寸LxWxH:560x450x360mm
29、*温度控制:在等离子激发频率为13.56MHz的情况下,在满功率运行30分钟后清洗腔内温度不高于32℃,清洗过程不损伤样品本身的性能
30、*质保期:主机2年,真空泵1年
31、配置:主机VP-R3、双级旋片真空泵、2米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、外接气管2根
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