日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2

日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2

紧凑型自动转印显影机。

ACT-300A2S自动转印型显影机在旋转6英寸以下的基材时进行喷雾显影。

它配备了两套显影液系统、一套冲洗系统和一把气刀，配方设置操作可通过触摸屏进行，可实现多达25种基质的自动显影。

也可提供无自动处理的单晶片类型。

日本EHC 自动转印显影机ACT-300A2

主要规格。

处理能力：可连续处理25张6英寸以下的圆形基材。

流程：显影剂：2个系统，漂洗：1个系统，气刀：1个系统。　

使用的化学品：碱性显影剂，去离子清洗水。

处理能力 多达25个6英寸的圆形基片（专用盒式存储型）。

过程开发者2系统（喷嘴可互换）。

　　　　　　　　1个漂洗系统 1个气刀系统

使用的化学品 碱性显影剂 去离子清洗水

转移机器人Tatsumo定心台，用于准确定位基片。

可以注册10个步骤x50个模式的食谱。

以0.1秒为增量的处理时间设置

板速交流伺服电机控制的　0-3000 rpm 精度±2 转速以内

设备尺寸 W1120 x D920 x 高1950毫米，zui大50 0公斤或以下

控制系统8英寸触摸面板操作

吸水台 白色特氟隆，真空孔吸水式

罐体容量为18L，与机体分离，通过称重传感器检测残余液位。

显影液控制温度20-30°C ± 3°C

公用事业 3相200V/30A 1个漏电断路器

内置真空泵

空气0.5兆帕

氮气 0.3 MPa

排气管 2个排气系统（电动排气管、杯式排气管），ø75 mm

显影液废液    收集在聚乙烯罐中或与工厂废物相连