日本EHC VD-400减压室

日本EHC VD-400减压室

一个减压的干燥系统，带有触摸面板控制的配方操作。

VD-400是一个减压室，用于在抗蚀剂应用后对玻璃基材进行涂层。

该设备用于减压干燥。

VD-400减压室特点。

通过触摸面板控制简化操作。

可进行配方操作（允许复制操作程序）。

两级排风减少了风的波纹和气泡。

蝶形阀的使用使真空排气量得以设定。

日本EHC VD-400减压室

主要规格。

外部尺寸400毫米×400毫米，高度103毫米（盖子关闭时）。

　　　　　　　 内部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

○ 真空：可实现的真空度约为1Pa或更低（无负载时）。

规格。

0室：外部尺寸400mm x 400mm，高度103mm（盖子关闭时）。

　　　　　 内部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

0 真空系统：可实现的真空度：1帕或更低（不含样品）

　　　　 干式泵250升/分钟

达到设定压力时，自动释放到大气中。

　　　　　 时间模式 在设定的减压时间后自动释放大气。

0 实用：3Φ AC200：干燥空气 0.4-0.6 MPa：真空抽气

z 外部尺寸：（宽）1000 x（长）800 mm x（高）1600 mm

0 设备重量：约250公斤