美国Bristol光学测厚仪

Bristol Instruments提供了一系列测厚仪产品，可方便地测量厚度，并具有高的测量精度以及重复性，以适用于大部分的应用需求。重要的是，这些产品采用了一种有效的技术，即使用非接触式光学探针进行无损检测，同时这种技术还可以同时测量多层膜的厚度。

　　产品特点：

　　可测量硬材料和软材料，并且不会造成损坏或变形

　　用于定位测量位置的可见光束

　　同时测量多达31层

　　测量光程： 12mm/ 40mm/80mm

　　测量精度： ±0.1 μm/±1μm

　　使用内置的固有长度标准进行连续校准

　　测量置信水平≥99.7%

　　可追溯至NIST标准

　　测量频率高达20赫兹

　　使用USB或以太网进行PC通讯

　　提供基于Windows的光学测量软件，用于设置测量参数和输出测量数据

　　使用LabVIEW、NET或自定义编程进行自动数据报告，无需专用PC

　　软件测量界面：

　　应用领域：

　　光学元件和透镜组件

　　可测量单个镜片以及镜头组包括空气间隔

　　隐形眼镜和晶状体

　　测量中心厚度、矢高和群折射率

　　导管窥镜

　　可同时测量壁厚、内径和外径，管壁厚度、管颈和管锥的壁厚

　　LCD, LED, OLED 和AMOLED显示屏

　　可测量总厚度和各层厚度，包括LOCA（液体光学透明粘合剂）层

　　半导体

　　硅/砷化镓晶片

　　玻璃抛光

　　测量化学腐蚀前后的厚度或抛光工艺，使玻璃板更薄、更轻。

　　Optional:

　　Lensthick 非接触式光学测厚仪

　　产品特点：

　　LensThick集成了Bristol非接触式光学测厚仪，系统集成化程度较高，增加了电动升降台和倾斜平移一体调节台，将测厚仪主机和高性能工控机集成在定制机柜里，并配备了高清显示器，此外还开发了全中文人机交互软件，软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号，以便实时调整。软件支持自动峰值模式，使用操作员创建的样品设计文件，可以定义32个反射面（31层）的预期峰值位置，可自动识别在的阈度内接近预期峰值位置的峰值，从而计算并输出每层的厚度。此外，软件还带有判据功能，即超出设计值的公差范围，数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。软件还可根据用户材料色散方程系数，自动计算出材料的群折射率并保存。针对同其它设备和产线集成，软件还可通过TCP/IP形式将实时测量结果发送给其它设备。

　　LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪

　　设备特点：

　　LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；

　　配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；

　　采用大理石组合结构，稳定性高

　　XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；

　　采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；

　　测量时通过CCD图像校正，保证测量位置准确；

　　主要配置/设备关键部件：

　　非接触式光学测厚仪

　　XYR平台参数：

　　平面度：±0.005mm

　　直线度：±0.005mm

　　重复定位精度：±0.001mm

　　位置精度：±0.001mm

　　视觉校正相机：

　　2000万像素

　　低噪声，高精度