桌面小型离子溅射仪，

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪在扫描电镜（SEM）的样品喷金方便为专用的仪器，样品的导电性及导热性可以非常有效的提供，使恒沉积速率得到确保，使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少，使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。

桌面小型离子溅射仪技术参数；