目录:郑州科探仪器设备有限公司>>材料样品处理>>小型蒸镀仪>> KT-Z1650CVD小型蒸镀仪
| 靶材材质 | 金 铂 铜 银 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
| 溅射气体 | 根据需求气体 | 控制方式 | 触摸屏智能控制 |
| 样品仓尺寸 | 50mm | 样品台尺寸 | φ50mm |
| 应用领域 | 电子 |
小型蒸镀仪KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
小型蒸镀仪技术资料：
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
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