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合肥科晶 900℃小型RTP炉

产品概述：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4" 石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（大达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。

主要特点：

·快速升温，达50℃/s；快速降温，大117℃/min。

·超大管径φ110mm。

·温度可达900℃。

·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

·开门断电。

合肥科晶 900℃小型RTP炉 基本参数：

·工作温度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期)

·升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

·降温速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一个大气压下)

·法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰

·慢降温速率10℃/min

·加热区长度：190mm

·控温精度：+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃)

·加热元件：8根红外灯管(每根1.5KW，图1、2、3)

·热电偶：可插入式的铠装热电偶，进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下

·大功率：12KW(>60A 保险)

·设备电源：AC220V/50HZ 单相

·循环水流量:0.5 m3/h

·标配流量计量程范围：16-160 ml/min

尺寸：

·760（L）×330（W）×530（H） mm （法兰关闭）

·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法兰打开）

重量：70Kg

认证：所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。