Sievers Boron Ultra在线型UPW硼分析仪是新一代的超纯水（UPW，Ultrapure Water）硼分析仪，能检测万亿分之一（ppt）的溶解硼浓度。Boron Ultra分析仪是市面上仅有的一款实时在线型硼分析仪，帮助许多微电子制造商和超纯水系统拥有者连续监测硼控制工艺，满足“国际器件与系统路线图（IRDS，International Roadmap for Devices and Systems）"有关超纯水的规格要求（即50 ppt）。

Sievers Boron Ultra分析仪能够检测到二氧化硅释放前硼的增加，有助于防止二氧化硅泄漏到超纯水中。此款分析仪能够主动检测到从工艺（如混合树脂床离子交换工艺和电子去离子化工艺）中释放出来的二氧化硅和其它离子污染物，从而帮助用户提高有效产出和降低离子交换工艺成本。

本文件介绍新款Sievers Boron Ultra的主要亮点，以及与旧款硼分析仪的比较。

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