Sievers Boron Ultra在线超纯水硼分析仪是Sievers超纯水硼分析仪的最新一代产品——这是市场上仅有的一款能够连续、无人值守地在线监测超纯水(UPW)应用中万亿分之一(ppt)级含量水平硼的仪器。Sievers Boron Ultra超纯水硼分析仪是与半导体制造商合作开发的,用于控制超纯水中的污染物,如胶体硅。随着半导体芯片尺寸的不断缩小,早期检测污染物变得越来越关键。Boron Ultra超纯水硼分析仪用于尽可能减少和控制来自离子去除过程的胶体和离子硅的泄漏,如混合床离子交换和电去离子化(EDI),以提高芯片产量。此外,它也用于控制去离子过程,以满足国际设备和系统发展蓝图(RDS)在半导体超纯水中的 50 ppt 的硼的限值。它专为设备经理、超纯水系统业主以及超纯水工艺控制工程师和技术人员的需求而设计。
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