简介

　　Sievers*M9e总有机碳（TOC）分析仪的“加压集成在线取样器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）"配件专用于加强微电子应用中的超纯水（UPW）系统的有机物监测能力。在微电子应用中（TOC通常小于5 ppb），监测水质的微小变化至关重要，能够确保最终产品质量和优化处理工艺。

　　当要监测的浓度很低时，总碳（TC）和无机碳（IC）的值非常接近，因此TOC测量值（TOC=TC-IC）会受信噪等干扰因素的影响。周围环境中的微气泡就是这种干扰源之一，会导致意外的TOC峰值。PiOS能给分析仪中的样品加压3-5 psig，抑制气泡的形成，确保分析仪在低浓度下进行准确的分析。

　　验证Pios

　　在下列条件下进行测试，验证配置了“加压集成在线取样器（PiOS）"和“标准集成在线取样器（iOS）"的分析仪的低TOC分析性能：

　　正常运行模式

　　Turbo运行模式

　　各标样的TOC回收率

　　各种环境温度、入口压力、样品温度PiOS不影响系统任务的运行，其中包括校准、确认、仪器检测限等系统任务。在微电子车间进行的外部测试的结果表明，使用PiOS时能够报告稳定的亚ppb级的TOC分析结果。本文将在后面的部分中详细报告此验证的结果。

　　降低噪声和峰值

　　与标准iOS相比，PiOS能够减少低TOC分析结果中的TOC峰值和点对点噪声（见图1a和1b）。

　　此外，在长时间的低TOC（<1 ppb）测试中，PiOS能够报告稳定的结果和可靠的“仪器到仪器"一致性，如图2所示。

　　与配置标准iOS的Sievers 900 TOC分析仪相比，配置PiOS的Sievers M9e TOC分析仪的分析结果显示出更好的稳定性和更少的小尖峰（图3）。

　　结论

　　PiOS在低浓度（< 5 ppb TOC）应用中有更好的有机物监测性能，其良好的稳定性、准确性、“仪器到仪器"一致性对监测超纯水系统来说至关重要。PiOS可安装于Sievers M9e便携式分析仪和在线型分析仪，可以安装在新分析仪上，也可以作为现有分析仪的升级配置。

　　有了PiOS，M9e就能有效监测整个超纯水处理过程中的有机污染物，如有机氮化合物和有机酸。PiOS能够不受干扰，提供稳定、准确、可靠的分析数据，从而优化分析仪的在线TOC分析，更有效地监测低ppb甚至亚ppb级的超纯水系统。

　　参考文献：

　　1.Operation,Calibration,and Autozero Guidance for TOC Monitoring in Microelectronics UPW Applications.GE Analytical Instruments.2015.Web.2 Jun 2016.

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