光刻机冷却装置水冷式冷水机

光刻机冷却装置水冷式冷水机

冷水机组采用*的微电脑智能化控制系统，精确控制工业生产过程所需的各种温度（5℃～35℃）。不仅调控温度全面实现人机界面功能且保证机组控温精度高达±1℃。对于其他温度范围可按要求定制。

1、制冷压缩机及其它制冷配件和控制元器件均采用国内,不仅保证机组性能的充分发挥，同时确保机组具有较长的使用寿命。

2、冷水机组具备完善的保护装置（高压、低压、过压、欠压、过载、缺相、时间延时、缺水保护等）及联锁控制线路,且主要故障均在面板上显示,检修简易。

3、节流方式均采用外平衡热力膨胀阀控制，温度调节范围广，制冷剂流量自动控制，机组运行稳定，能效比高，与目前市场上普遍采用的毛细管节流相比，具有*的*性。当工况如环境温度、要求的水温、热负荷等变化时，毛细管无法自我调节，此时制冷量下降，同时可能会造成压缩机排气温度过高、润滑性下降或液击，直接影响机组的使用寿命，严重时制冷系统无法正常工作。

4、水冷式冷凝器采用无缝齿状外螺纹铜管壳管式，数控车床精细加工，具有特强换热效率，寿命长，可拆洗等优点；风冷式冷凝器采用蜂窝铝翅片串高效内螺纹紫铜管配合高效轴流风机，换热效果非常好。

5、蒸发器可根据不同用途选择如（不锈钢水箱盘管式、不锈钢板式、干式壳管式、电镀耐酸蒸发器）。

6、选不锈钢优质水泵，干燥过滤器等部件匀采用美国艾默森品牌，可靠耐用。

7、按需内置或外置补给贮水箱，避免启停频繁，自动或手动补充水。

有适合各种机械设备配套之机型，可按客户要求特别制造。

特殊配电要求可定制。

冷冻水的压力和温度——讲解

　　空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃，供水温度7℃，温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说，其运行条件不变，外界负荷一定的情况下，冷水机组的制冷量是一定的。此时，通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比，即冷水流量越大，温差越小；反之，流量越小，温差越大。所以，冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃，这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

　　在标准工况下，蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度，和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是：蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力；机组在负担设计负荷的情况下运行，蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，阀门一经确定，冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行（如卸载运行）旱，各阀门也应相对稳定不变。应当注意，全开阀门加大冷水流量，减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高，机组的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，两相比较得不偿失。所以，蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

　　一般来说，冷水供水管上的压力，只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了，这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度，可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小，则冷水泵背压提高，通过水泵的流量减少，水泵功率消耗下降，这时蒸发器的供水压力下降，但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　为了冷水机组的运行安全，蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外，冷水系统虽然是封闭的，在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重，但从设备检查维修要求出发，应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

【光刻机冷却装置水冷式冷水机】