PI N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器 返回列表页

PI N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器

紧凑，快速，具有长行程，PiezoWalk原理

• 行程为10至125毫米，动轮长度可变
• 紧凑型设计，经济划算的设计
• 分辨率达0.03纳米
• 力量生成达10牛

PI N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器

• 行程为10至125毫米，动轮长度可变
• 紧凑型设计，经济划算的设计
• 分辨率达0.03纳米
• 力量生成达10牛

应用领域

• 工业级精度定位
• 半导体技术
• 半导体测试
• 晶圆检测
• 平版印刷术
• 纳米压印
• 纳米测量
• 强磁场和真空中运动

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学线性编码器以*的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行小步进和推进运动。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。