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Physik Instrumente Q-Motion小型线性平台

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时，驱动直接作用在动轮上，实现大为10毫米/秒的速度。

真空和无磁性环境

所有Q-Motion®线性平台都适用于高真空中的操作，真空可达10^-6 百帕。此外，适用于10^-9 百帕的超高真空变型也可供货。可按需提供无磁性版本。

直接测量原理

可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4 纳米或1 纳米，取决于不同版本。带编码器的版本具有参考点开关。

应用领域

微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试。

Physik Instrumente Q-Motion小型线性平台

宽仅21毫米、高仅10毫米
采用集成式增量编码器实现直接位置测量
编码器分辨率高达1纳米
小位移高达2纳米
带接装板或支架（作为选配件提供）的多轴系统装置
适用于高达10-6百帕的真空环境，还可提供用于真空达10-9百帕的版本