产品简介
详细介绍
KSD-0120 静电电位监视器通过单个控制器可以连接多2个宽通道传感器(KS-2100)通道,从而可以以低成本构建静电监控系统。KSD-0120 静电电位监视器由于传感器单元体积小,可以安装在各种制造设备的狭窄位置,实现连续监控。
特点
- 通过单个控制器可以连接多2个宽通道传感器(KS-2100)通道,从而可以以低成本构建静电监控系统。
- 由于传感器单元体积小,可以安装在各种制造设备的狭窄位置,实现连续监控。
- 由于可以进行报警设置,因此可以在超过设定电位时与各种制造设备连接。
- 新开发的表面电位传感器故障诊断电路配备成可以快速确认由于冲击等引起的传感器故障并输出到外部。
- 它还可用于检查和管理离子发生器的效果。
- 通过切换范围,可以在从低电位到高电位的宽范围内进行测量。
使用
- 平板显示器生产过程中的电荷量监控。
- 半导体晶圆电荷监测。
- 监控LSI处理和印刷电路板传输期间的充电量。
组成
项目 | 格式 | 备注 |
---|---|---|
的主体 | KSD-0120 | |
安装支架 | 包含在体内 | |
传感器 | KS-2100 | 可选,2个单位 |
AC适配器 | 适用于KSD-0120的AC适配器 | 选项 |
规范
的主体
模型 | KSD-0120 |
---|---|
显示范围 | 范围(1)±1至±1999 V 范围(2)±0.01至±19.99 kV |
模拟输出 | 0至±5 V. |
控制设定 | 2通道独立设置 |
控制输出 | 开路集电极(控制设定输出和传感器故障输出) |
电源 | 12-24 VDC或 AC适配器(AC 100 V /选件) |
当前消费 | 500 mA(DC 12至24 V) |
环境 | 温度0-40°C,湿度65%RH或更低(无冷凝) |
块 | 大约580克(包括安装支架) |
AC适配器(可选)
模型 | 适用于KSD-0120的AC适配器 |
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输入电压 | AC 100 V 50/60 Hz |
输出电压 | DC12V |
电缆长度 | 1580毫米 |
块 | 约385克 |
传感器(选项)
模型 | KS-2100 |
---|---|
检测方法 | 振动型表面电位传感器 |
测量范围 | 范围(1)±1至±2000 V 范围(2)±0.01至±20.00 kV |
模拟输出 | 0至±5 V. |
测量精度 | 在±10%以内 |
测量参考距离 | 范围(1)10 mm 范围(2)50 mm |
报警 | 检测传感器故障LED显示,外部输出 |
电源 | 由KSD-0120提供 |
环境 | 温度0-40°C,湿度65%RH或更低(无冷凝) |
块 | 大约100克(我们不包括电缆) |
附件 | 电缆5米(可延长100米) |