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| 重量 | 1kg |
|---|
产品简介
详细介绍
特点
- 世界范围的单晶硅电有的采用效果，避免了由于具有超低颗粒特性的电极材料而导致的金属污染风险
- 高电荷去除性能，使用*的MP（脉冲调制）方法有效地将离子传输到目标
- 小的电位摆动特性，即使在100 mm距离和离子平衡时也可以使用，并且在横杆长度上的偏置较小
- 通过智能控制电路随时自动控制离子发生状态和离子平衡
- 可拆卸的电极可以1/4转动移动，有助于减少维护工时
- MP系统极小的电位摆动简化了设置，小电位摆动有效地保持了控制标准内的长期离子平衡。
- 根据EFEM进行半导体预处理设置条的长度
- 紧凑型设计，内置24V直流驱动控制器
- 范围内提供高级支持网络
规范
型号5635 AeroBar MP
| 输入电压 | 24V DC +/- 10％ |
|---|---|
| 输出电压 | 高达约13.5kv pp可调 |
| 安装距离 | 100mm至1000mm（无空气吹扫） |
| 离子发生系统 | 电晕放电方法 MP（脉冲调制）方法调制频率1至33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡调整方法 <±10 V在条形差异中的位置<±10 V （600 mm距离） |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥空气或N2 |
| 大吹扫压力 | 310 Kpa |
| 臭氧量 | <0.05 ppm（24小时积分值） |
| 信号输出 | 报警IO开路集电极输出 |
| 维 | 高度78mm x深度34mm x长度在下方 |
| 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm | |
| 外观 | ABS树脂 |