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AeroBarMP 5635 日本SIMCO静电风棒

AeroBarMP 5635 日本SIMCO静电风棒
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具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌Wolfgang Warmbier/德国

厂商性质经销商

所  在  地深圳市

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更新时间：2019-04-19 19:58:08浏览次数：685次

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产品简介
重量 1kg
AeroBarMP 5635 日本SIMCO静电风棒是一种超低颗粒兼容产品，专为静电消除应用而开发，AeroBarMP 5635 日本SIMCO静电风棒需要管理100纳米或更小的微小颗粒，例如先进的半导体制造工艺。

详情介绍

特点

  • 世界范围的单晶硅电有的采用效果，避免了由于具有超低颗粒特性的电极材料而导致的金属污染风险
  • 高电荷去除性能，使用*的MP（脉冲调制）方法有效地将离子传输到目标
  • 小的电位摆动特性，即使在100 mm距离和离子平衡时也可以使用，并且在横杆长度上的偏置较小
  • 通过智能控制电路随时自动控制离子发生状态和离子平衡
  • 可拆卸的电极可以1/4转动移动，有助于减少维护工时
  • MP系统极小的电位摆动简化了设置，小电位摆动有效地保持了控制标准内的长期离子平衡。
  • 根据EFEM进行半导体预处理设置条的长度
  • 紧凑型设计，内置24V直流驱动控制器
  • 范围内提供高级支持网络

 

规范

型号5635 AeroBar MP

输入电压24V DC +/- 10％
输出电压高达约13.5kv pp可调
安装距离100mm至1000mm（无空气吹扫）
离子发生系统电晕放电方法
MP（脉冲调制）方法调制频率1至33 Hz
离子平衡自动平衡调整方法
<±10 V在条形差异中的位置<±10 V 
（600 mm距离）
电极单晶硅电极可更换
吹扫气体清洁干燥空气或N2
大吹扫压力310 Kpa
臭氧量<0.05 ppm（24小时积分值）
信号输出报警IO开路集电极输出
维高度78mm x深度34mm x长度在下方
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
mm
外观ABS树脂

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