当前位置：上海韬世实业发展有限公司>>德国 海德汉HEIDENHAIN>>直线光栅尺>> LIDA 473/LIDA 483/LIDA403heidenhain海德汉光栅尺LIDA403精度0.01 µm
电子细分与判向法
光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。
在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以等到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以得到光栅尺的位移和速度 。
1、 xian进可靠的光学测量系统，采用可靠耐用的高精度五轴承系统设计，保证光学机械系统的稳定性，优异的重复定位性和高等级测量精度。
2、 传感器采用密封式结构，性能可靠，安装方便。
3、 采用特殊的耐油、耐蚀、高弹性及抗老化塑胶防水，防尘优异，使用寿命长。 4、 具体高水平的抗干扰能力，稳定可靠。
5、 光源采用红外发光二极管，体积小寿命长。
6、 采用*的光栅制作技术，能制作各规格的高精度光栅玻璃尺(长可做到3000mm)。
heidenhain海德汉光栅尺LIDA403精度0.01 µm
LIDA 473，LIDA 483
带限位开关的增量式直线光栅尺
• 测量步距1 µm至0.01 µm
• 玻璃或玻璃陶瓷测量基准
• 玻璃光栅尺，背胶固定
• 由光栅尺和读数头组成
高速运动和大测量长度
LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安装方式，安装特别简单。根据相应应用要求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。
线性比例尺 | LIDA 403 | |||||
测量标准 线膨胀系数* | 玻璃陶瓷或玻璃上的金属薄膜光栅；光栅周期20微米 αtherm？8·10–6 K–1（玻璃） αtherm=（0±0.5）·10–6 K–1（Robax玻璃陶瓷） | |||||
精度等级* | ±1微米（仅适用于Robax玻璃陶瓷），±3微米，±5微米 | |||||
基线误差 | ≤±0.275微米/10毫米 | |||||
测量长度ml*in mm | 240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640, 2840, 3040 (ROBAX glass ceramic with up to ML 1640) | |||||
参考标记* | Lida 4x3：测量长度中点处一个；Lida 4x3 C：距离编码 | |||||
质量 | 3 g + 0.1 g/mm 测量长度 |
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扫描头 | LIDA 48 | LIDA 47 | ||||
界面 | 1 VPP | TTL | ||||
积分插值* 信号周期 | – 20 µm | 5-fold 4 µm | 10-fold 2 µm | 50-fold 0.4 µm | 100-fold 0.2 µm | |
截止频率–3 dB | ≥ 400 kHz | – | ||||
扫描频率* | – | ≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz | ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz | ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz | ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz | |
边缘分离A1） | – | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | |
横移速度1） | ≤ 480 m/min | ≤ 480 m/min ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min | ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min | ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min | ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min ≤ 7.5 m/min | |
插值误差 | ±45 nm | – | ||||
限位开关 | 带有两个不同磁铁的L1/L2；输出信号：TTL（不带线路驱动器） | |||||
电气连接 | 电缆，0.5 m、1 m或3 m，带15针D-Sub连接器（公） | |||||
电缆长度 | 见接口说明，但限制：≤20 m（带海德汉电缆） | |||||
电压供应 | DC 5 V ±0.5 V | |||||
电流消耗 | < 130 mA | < 150 mA (without load) | ||||
振动55赫兹至2000赫兹 冲击6毫秒 | ≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27) | |||||
工作温度 | –10 °C to 70 °C | |||||
质量扫描头 连接电缆 连接器 | 20 g (without cable) 22 g/m 32 g | |||||
*订购时请选择 1）在相应的截止或扫描频率下 Robax®是德国缅因州Schott Glaswerke的注册商标。 | ||||||
如有需要详情，请见：heidenhain海德汉光栅尺LIDA403精度0.01 µm
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