大容量等离子清洗机

日本雅玛拓V1000/1000X/1000XS大容量等离子清洗机 高频输出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高频输出的离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除

V1000/1000X/1000XS大容量等离子清洗机的技术规格

其他产品介绍：YSP600U/2KU等离子清洗机
高频输出 YSP600U：600W YSP2KU：2000W 反应台尺寸 YSP600U：300×300mm YSP2KU：600×600mm
样品传输系统为模块式，便于组合。
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。