多段式等离子清洗机

日本雅玛拓* PDC610多段式等离子清洗机高输出 600W电极尺寸 Φ215×305mm，属于小型、多段式离子清洗机
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 灰化、蚀刻处理
● 塑料封装前处理
● 印刷基板镀层前处理
● LED关联部品处理
● 电子部品清洗
● 光刻胶剥离或表面残留物去除
● 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
● FCC对应
特征
● 600W的小型高输出功率
● 电极可选择1·2·3段（采购时）
● 可处理纵型的试料收纳盒
● 可选择RIE/DP模式（采购时）
● 数据记录器（选配）
● 适配点记忆功能（选配）

PDC610多段式等离子清洗机的技术规格

同类别产品介绍：V1000/1000X/1000XS等离子清洗机
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除