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详细介绍
美国安捷伦Agilent离子泵VacIon Plus 55系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。StarCell 的设计使其成为惟一能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以高速度和大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
特性：
1.单元室采用优化设计，可大限度提高排放强度和抽速
2.离子泵在真空状态下运输
3.具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）
4.可提供多种泵体配置
5.联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和大限度缩小泵的总体尺寸
6.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
7.陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
8.提供扫描电子显微镜 (SEM) 型
美国安捷伦Agilent离子泵VacIon Plus 55技术指标：
| StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二极泵 | |
| 氮气名义抽速 (*) (L/s) | 50 | 53 | 55 |
| 在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命（小时） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 大启动压力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
| 极限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽气口法兰 | 4.5 英寸 CFF (NW 63) AISI 304 ESR SST | ||
| 高烘烤温度 (℃) | 350 | ||
| 重量，kg（磅） | 18 (39) | ||
(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试
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