安捷伦VacIon Plus离子泵

安捷伦VacIon Plus离子泵具有从 20 到 75 L/s 的氮气抽速范围，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 （UHV） 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于在恒定的压力下抽除混合气体的超高真空应用中，因此非常适用于粒子加速器、同步

中型安捷伦VacIon Plus离子泵具有从 20 到 75 L/s 的氮气抽速范围，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于在恒定的压力下抽除混合气体的超高真空应用中，因此非常适用于粒子加速器、同步加速器环和表面分析等应用。设计的 StarCell 是惟一能同时抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10–8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

 

安捷伦VacIon Plus离子泵性能指标：

中型 VacIon Plus 泵	抽气口法兰	型号	抽速 (L/s)（在 1–6mbar 压力下的饱和泵）氮气	工作寿命（小时）（在 1–6 mbar 压力下)	重量
VacIon Plus 20	2 3/4 英寸外径 CFF (NW 35)	Star Cell Noble Diode Diode	20 22 27	80000 50000 50000	净重 7 (15) 运输重量 11 (24)

 

外形图： 

 

技术规格：

Agilent VacIon Plus 20

	StarCell	Noble Diode	Diode
氮气额定抽速 (*) (L/s)	20	22	27
在 1 × 10–6 mbar压力下的工作寿命（小时）	80,000	50,000	50,000
最大启动压力 (mbar)	≤ 5 × 10–2	≤ 1 × 10–3	≤ 1 × 10–3
极限真空	低于 10-11
抽气口法兰	2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST
最高烘烤温度 (°C)	350
重量，kg（磅）（带铁氧体磁铁）	净重 7 (15)，运输重量 11 (24)

 

(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试