详细介绍
无尘车间
无尘车间,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。许昌无尘车间工程
防止方法:
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用高性能的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:
1)不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2)不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
减少接触剥离发尘的动作形态;
采用磨耗发尘小的材质;
采用发尘小的润滑油;
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
3)不储备
若能*实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有*洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
在高等级的无尘室中从天花板到地面,*除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和*过滤空气*交换所计算出来的数值。同时,空气的流向也必须要有准确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进行除电。
4)排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
维护管理:
洁净技术在近20年发展迅速,各种规模、不同等级的无尘室在电子、精密机械、航天、医疗、食品、化妆品、生物制药等行业发挥着日益重要的作用,为提高产品质量、开发产品做出了重要贡献。无尘室如果设计是正确、合理的,施工建造是高质量的,但在运行维护管理中不科学、不严格、必将使无尘室的空气洁净度逐渐下降,造成实际生产环境中的多项指标偏离规定要求,从而产品质量下降,甚至不合格。
无尘室人员管理,制定专职管理人员的职责、无尘室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入无尘室人员的“人净程序”管理。物流管理,物料进入、各类设备进入,以及相关设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入室内。洁净度管理,包括洁净服采购和制作、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。清扫、灭菌管理,对于无尘室内的各种设备和设施的清扫灭菌方法,周期和检查作明确的规定,防止、消除无尘室内尘粒、微生物的产生、滞留及繁殖。严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水电系统、生产工艺设备和器具等,以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别。
监控无尘室在使用过程中正常的运行和维护,应对室内的运行状况及相关设施进行定期检查。如:在规定的时间、地点,用粒子计数器测定控制粒径的微粒数;在规定时间、地点测定沉降菌落数或浮游菌数等;温湿度方面,在规定的时间、地点测定和核对连续测定记录;测量净化空调系统的高效过滤器的压差,检查空气过滤器是否堵塞、安装的密封垫是否完好或过滤器损坏引起的泄露情况,使用风速计检查局部排风装置的风量;使用噪声测定仪在规定的时间、地点测定噪声值;检查送风机轴承、送风机的运行状态、尘埃和污物,以及送、回风管道内部和送风口的腐蚀及污垢等情况;无尘室内是否保值清洁、顶棚和墙面是否有裂缝或腐蚀;涂敷状态、机械和设备类有没有异常现象等,必须逐个列表检查,不能遗漏任何一项;使用照度表在规定的时间、地点测定照度值;使用压差表测定无尘室内外的静压差。许昌无尘车间工程