详细介绍
日本三丰378系列半导体检测用显微镜FS70Z
日本三丰378系列半导体检测用显微镜FS70Z
• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械 的 OEM(原厂委制) 产 品, 如 那 些 利 用YAG(近红外、可见、近紫外或紫外) 激光 *对半导体晶片进行检测和修补的设备。* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用 :切割、修整、校正、给半导体电路做标记 / 薄膜 (绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统 *。应用 :晶体硅的内部观察 ;红外光谱特征分析。* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持 BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比 (DIC) 的型号 (产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
- 型号 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
- 货号 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
- 短基座型号 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
- 货号 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
- 对焦 50mm 行程,同心焦距粗调 (3.8mm/转)和微调 (0.1mm/转) 对焦轮(左、右)
- 图像 正像
- 瞳距 西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm
- 视场数 24mm
- 俯角 — 0º- 20º — 0º - 20º — 0- 20º — 0º - 20º
- 透过率 固定(目镜 /TV=50/50) 可调型 (目 镜/管径= 100/0:0/100) 固定(目镜/ TV=50/50) 可调型 (目镜/管径= 100/0:0/100)
- 防护滤光片 — 内置激光滤光片
- 光学管径 1X 1X - 2X变焦 1X
- 适用激光 — 1064/532/355nm 532/266nm
- 相机端口 C-mount (使用适配器B选件*1) 使用带有电视端口的激 光器 C-mount 端口 (带有绿色滤光片转换 开关)
- 照明系统, 选件 亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑) 12V 100W 光纤传导、无极亮度调节、光纤长度:1.5m
- 物镜, 选件 (用于观察) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
- 物镜, 选件 (用于激光切割) — M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV M Plan UV
- 载重* 2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg