1、 进样系统：溶液→气溶胶（进入ICP离子源）
2、 ICP离子源：气溶胶→离子(去溶、气化、解离、电离）
3、接口：离子进入真空（界面层、等离子体电位与离子动能）
4、离子在四极杆中被按质荷比筛选
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