PI P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

Physik Instrumente P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

§ 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转

§ 行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏 摆角）

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 电容式传感器带来gao线性度

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 优异的扫描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

应用领域

§ 扫描显微镜

§ 超分辨率显微镜

§ 生物技术

§ 掩模/晶圆定位

§ 样本定位

§ 干涉测量

§ 计量

订购信息

P-562.6CD

PIMars6轴纳米定位系统，200微米，1毫弧度，平行计量 可按需提供其他行程。

PI P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统