PI PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

皮米级精度，高带宽，用于扫描探针显微镜

P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

§ 用于AFM / SPM的高线性扫描仪

§ 分辨率高达20皮米，滞后小于1 纳米

§ 闭环驱动概念带来gao带宽

§ 用于生物技术/纳米技术的gao精度操 纵工具

§ 谐振频率为4.0千赫兹（X、Y）、11 千 赫兹 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动 态和精密的运动。

PI PicoCubeXY(Z)压电扫描仪