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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

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更新时间:2022-08-17 15:27:32浏览次数:1094

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产品简介

价格区间 面议 仪器种类 微流控芯片系统
应用领域 医疗卫生,环保,化工,生物产业,石油
Best tools 匀胶显影一体机 SC100D是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,多可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

详细介绍

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D图片:


简介

SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。

SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,多可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

SC100D使用工业级伺服马达和高级PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D规格参数:

功能图解


应用系统

PDMS芯片制作

MEMS器件加工。




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