钯扩散氢气纯化器，在理工大学利用50%以上的原料氢，通过BG-5型钯扩散超高氢纯化仪提纯到99.9999%以上的氢气，在微波炉内加上适当的温度以不同的比例与甲烷混合，在原有的硅片上植被金刚石粉或钻石粉进行结晶，得到成功的应用。

     钯扩散超纯氢气纯化器纯化的超纯氢气广泛应用于材料学、氢气的提纯、氚气的提纯、电子、半导体、LED、多晶硅、气相色谱仪、电子管等战略性新兴产业。该产品应用示范装置的成功开车，标志着我国具有自主知识产权的超纯氢气纯化技术，可以为上述战略性新兴产业提供廉价的超纯氢气原料。