Park XE15具有众多的*功能，是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的*。同时，合理的价格和稳健的功能使之成为业内最*的大型样品原子力显微镜之一。

Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品，让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台，再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品，从而提高数据的精确性和稳定性。

与大多数的原子力显微镜不同，Park XE15可扫描最大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求，也让故障分析工程师能够扫描硅片。

Park XE15配有绝大多数的扫描模式，可扫描各种尺寸的样品。得益于此，Park XE15是共用实验室的最佳配置，能够满足每个人的需求。

Park XE15 原子力显微镜
· 一次性自动多样品成像
· 特别设计的多样品卡盘，可装载多达16个样品
· 全机动XY轴样品台，行程范围达150 mm x 150 mm
借助电动样品台，MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程，借助自动化步进扫描，实现多区域成像。
流程如下：
1.记录用户定义的多个扫描位置
2.在第一个扫描位置成像
3.提升悬臂
4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标
5.探针接近
6.重复扫描
记录多个扫描位置十分简单，您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作，极大提高了生产力。

Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率最高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz）。

图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动最大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 µm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以精确地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。

在True Non-Contact™模式中，探针尖头与样品的距离在相互原子力的控制下，被成功地控制在几纳米之间。探针尖头振动幅度下，大大减少了探针与样品的接触，从而完好地保护了探针和样品。

原子力显微镜探针的尖头十分脆弱，这使得它在接触样品后会快速变钝，从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品，探针会破坏样品，导致其高度测量不准确。相应地，探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的精确数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针，从而延长其寿命，并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像，该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后，探针几乎有没任何磨损。