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椭圆偏振测厚仪

阅读:784          发布时间:2017-10-7
提 供 商 富盟德电子科技有限公司 资料大小 726.7KB
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实验项目:
1.了解并熟悉仪器的工作原理和性能
2.掌握如何利用设备测试样品的方法
指标:
偏振器方位角读数范围:0°-180°
测量范围:1nm-300nm
测量值:≤1nm
入射角:30°-90°;误差:≤0.1°
度盘刻度:每格2 度
游标zui小读数:0.05°
光学中心高度:152mm
工作台直径:Φ70mm
外形尺寸:730mm*230mm*290mm
产品重量:20kg;

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