LEYBOLD莱宝真空泵

LEYBOLD莱宝真空泵

安装在泵体中的偏心转子）有三块叶片，它们把泵分成三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。

当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩大，将气体从进气口吸入，气体经过空气滤芯，打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。

油在注入泵腔起密封、润滑和泵冷却的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集。而后在出口油雾分离器中被*过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度。

注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性、易燃或易爆气体。

LEYBOLD莱宝真空泵

研究与发展领域

所有工业品的生产与技术成果都必须经历广泛、高投入的研究与发展阶段。只有经过仔细研究、测试和开发过程的新产品才能投入到生产或大规模应用中。

应用于各研发领域的真空设备、装置及零备件，其尺寸和能力都是不同的。我们为满足这些研发用途而专门开发和生产特殊的专业产品。因此，我们能由始至终参与到客户的整个生产工艺过程中，并获得宝贵的经验以使本行业的合作伙伴也能根本受益。

LEYBOLD莱宝真空泵

半导体技术领域

半导体行业正持续迅速的发展着，为能满足客户对产品和工艺快速不断变化的需求，我们与客户之间的沟通从未象今天这样如此重要。

真空设备在所有半导体生产过程中发挥着极为重要的作用，针对特殊的生产要求必须选择适合的真空设备。

过去的几年里，为*半导体行业需求，我们缩短产品开发周期，更加迅速的推出新的产品，大大提高了我们的服务质量。