目录:郑州成越科学仪器有限公司>>等离子清洗机>> CY-PC13.56M-2L-150Q紧凑型等离子清洗机
紧凑型等离子清洗机主要特点：
1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物，至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具，可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门，便于样品装载。
4.3"直径石英腔室，适用于清洁2"晶圆，可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。
紧凑型等离子清洗机技术参数：
主要部件 指标名称 参数指标 清洗仓体 清洗仓材质 高纯石英 清洗仓尺寸 直径120mm;长度280mm 射频电源 电源特性 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 电源优势 ● 可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 射频功率 0~100W连续可调/0~150W连续可调 信号频率 13.56MHz ±0.005% 反射功率 ≤200W 功率稳定度 ±0.1% 射频接头 N型头 整机效率 ≥75% 谐波分量 ≤-50 dBc 冷却方式 强制风冷 气体测量 测量部件 浮子流量计 气体通道 两通道 A通道量程 10～100ml B通道量程 16～160ml 真空获取 真空测量 数字真空计（电阻规） 真空抽取 双极旋片泵 电机转速 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 抽气速率 50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。 真空量程 1Pa～100000Pa 极限真空1 Pa 电机噪音 ≤56dB 管道接口 进气口：KF16;排气口KF16. 连接管道 KF16真空波纹管 真空阀门 电磁阀 电机功率 400W 其它 供电电源 AC220V 50/60Hz 整机功率 1000W/1500W 使用温度 -10℃--40℃ 工作真空 ≤40Pa 整机尺寸 540mm×650mm×600mm 整机重量 78kg
● 操作简单灵活
● 具有完善的反射功率保护功能
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