产品名称

5英寸近距离蒸发镀膜炉

产品型号

CY-EVH350JJL-5"-SS

样品台

外形尺寸

5"x5"

转速

1-20RPM

可调温度

≦950℃

热蒸发源

20个红外灯管作为加热元件

真空腔体

腔体尺寸

350 mm Dia x 300 mm h

观察窗口

100 mm

腔体材质

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚测量

晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）

真空系统

配有一套分子泵系统

系统真空

1×10^-5Pa

流量计

两路浮子流量计 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m

工作温度

每个加热器的*高温度：RT-950℃。

两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部

温控系统

两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护

水    冷

循环水冷机（KJ-5300型，16L/min)

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电源

208V 60HZ  三相

整机尺寸

600mm×650mm×1500mm