目录:郑州成越科学仪器有限公司>>其他产品>> CY-PLT30-A等离子测试系统
技术规格：
| 供电电压 | AC220V，50Hz |
| *大功率 | 1KW |
| 耦合方式 | 电感耦合 |
| 石英腔体 | O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
| 观察窗尺寸 | φ30mm |
| 真空接口 | KF16 |
| 进气口接口 | 6.35mm 卡套接头 |
| 质量流量计 | Ar标定 量程100sccm |
| 真空泵 | 双极旋片真空泵 |
| 极限真空度 | 0.1Pa |
| 冷却方式 | 水冷铜管+风冷壳体 |
| 射频电源 | *大输出功率300W 自动匹配 频率13.56MHz |
| 整机尺寸 | 560mm X 620mm X 620mm |
1
化工仪器网