311158宝德适用于气体质量流量控制器

311158宝德适用于气体质量流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。

311158宝德适用于气体质量流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，311158宝德适用于气体质量流量控制器也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

主要特点：
采用 MEMS 技术直接测量流量
额定流量范围从0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重复性
响应时间非常快
现场总线通信基于 CANopen

工作原理：
主通道中的层流元件产生小的压降，这通过旁路（传感器管）驱动与主流成比例的小流量，两个连接在测量桥上的加热电阻受到不锈钢管的影响。 在零流量状态下，桥是平衡的，但是随着流量的增加，热量沿流动方向传输，桥变得不平衡。测量的动态受到作为热障的管壁的限制。 通过在控制器中使用合适的软件，可以获得适用于各种应用的响应时间（在几秒钟的范围内）。对于受污染的气体，我们建议在上游安装过滤器元件。 这样可以避免主流量和传感器管子之间的分配比率的变化，以及由传感器管壁上的沉积物引起的传热变化。