Horiba Z514、Z512高精度数字式质量流量控制器

产品概述

horiba Z514、Z512数字式质量流量控制器，又称气体质量流量计。

Horibastec Z514MGX属于SEC-500X系列，高性能数字式质量流量控制器，最小量程可以选择1sccm，精度0.25%，多用于半导体设备的PEVCVD、LPCVD、MOCVD中。

国内多回收、二次销售，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212