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HoribaSTEC N100系列质量流量控制器SEC-N112产品介绍

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HoribaSTEC N100系列质量流量控制器产品介绍

    SEC-N112MGM、SEC-N112JM


HoribaSTEC  SEC-N100系列数字式气体质量流量控制器,又称质量流量计,是horiba高性能质量流量计SEC-Z500系列的简化版本,在满足客户对质量流量控制器高品质的要求下,减少了高昂的成本投入 
   N100被广泛地运用于各种工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,到半导体、液晶面板和电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。畅销的型号有:

 SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N112MGRSEC-N112JM、

 SEC-N122MGMSEC-N124MGM、SEC-N122MGR、SEC-N122JM、SEC-N127、

 SEC-N132MGMSEC-N142MGM、SEC-N172R。

 量程最小0-3sccm,最大0-1000slpm。

 

特点:

1、可测量小流量1sccm,大流量1000SLPM

2、最高精度0.3%

3、不受压力影响;。


4、可选多种数字通讯:RS485profibuscc-linkEtherCATDeviceNet

SEC-N112系列质量流量控制器技术参数:

型号

选择通讯方式

选择供电方式

SEC-N112MG

SEC-N122MG

SEC-N132MG

SEC-N142MG

SEC-N172MG

数字式信号传输

▶RS485 F-NET协议

模拟式通讯

▶05VDC

HORIBA可提供PE系列供应电源

SEC-N114MG

SEC-N124MG

SEC-N134MG

SEC-N144MG

SEC-N174R

DeviceNet™ 通讯

符合ODVA标准

SEC-N115MG

SEC-N125MGSEC-N135MGSEC-N145MGSEC-N175R

CC-Link®通讯

模拟式通讯

▶0 to 5VDC, 0 to   10VDC 4 to 20mA

符合CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC)

 

 

SEC-N116MG

SEC-N126MGSEC-N136MGSEC-N146MGSEC-N176R

PROFIBUS™ 通讯方式

 

 

符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC)


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