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详细介绍
holmarc Thin Film Spectroscopic Reflectometer薄膜光谱反射仪
薄膜光谱反射仪是用于工业和研究的薄膜厚度分析的基本仪器。Holmarc的TFSR型号：HO-HAI-TFR-01SP能够以高速和可重复性分析薄膜的厚度，复折射率和表面粗糙度。TFSR理论使用菲涅尔方程的复杂矩阵形式来实现反射率和透射率。反射光谱是Reflectometer的原理。这是反射光束的强度（通常是单色的）与入射光束的强度之比。通常入射到样品表面的光束依次从受到干扰的薄膜表面的顶部和底部反射，并通过计算机将光纤引导至连接到CCD的光谱仪上。
| 膜厚范围 | ： | 20纳米-35微米 |
| 反射波长范围 | ： | 400 nm-850 nm |
| 透过率/吸收率范围 | ： | 0-100％ |
| 光源 | ： | 50W钨卤素石英灯 |
| 探测器 | ： | CCD线性阵列，3648像素 |
| 光谱仪 | ： | 光谱CDS 215 |
| NSF上 通常用于SiO 2的精度-66 | ： | ±1海里 |
| 相同样品的准确度 | ： | ±20纳米 |
| 光功率 | ： | 20瓦 |
| 光斑尺寸 | ： | 1毫米 |
| 光纤 | ： | 具有SMA光纤耦合器的多模双叉光纤 |
| 参考样品 | ： | 抛光NSF-66和NBK-7 |
| 标准样品 | ： | NSF-66基底上的 SiO 2薄膜 |
| 测量方式 | ： | 曲线拟合/回归算法，FFT，FFT +曲线拟合 |
| 色散公式 | ： | 柯西，Sellmeiers和经验模型 |
| EMA模型 | ： | 线性EMA，布鲁格曼，麦克斯韦·加内特，洛伦兹-洛伦兹模型 |
| 材料库 | ： | 可扩展材料用户库 |
| PC接口 | ： | USB |
特征
分析单层和多层膜（多层膜的间接方法）
光纤探头，用于法向入射角下的反射率测量
CCD线性阵列图像传感器，可同时测量每个波长的反射率
用户可扩展材料库
数据可以另存为Excel或文本文件
*的数学拟合算法
基于FFT的厚度测量
提取厚度和光学常数
参数化模型
此款产品不用于医疗，不用于临床使用，此产品仅用于科研使用。
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