使用耐腐蚀碳化硅陶瓷反应器，连续安全

氟气极其货品，其直接参与反应时很难控制选择性。常用的方式是先氯化，再用HF氟化。采用连续微反应器技术，为氟气直接氟化提供了便利。同时，操作也更安全，更。