笃挚仪器*的美国api激光干涉仪测量21中参数：包括线性定位误差、直线度误差、垂直度的偏摆角、俯仰角和滚动角。XD系列激光干涉仪约在2000年进入中国市场，是后来者，结合激光干涉技术和光电自准直技术：不仅可用于精度的zui终评价也可用于机床的安装调整。

 

美国API激光干涉仪XD Laser仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。其中6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反向后返回干涉仪与参考光束相干产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子记数，记录长度位移。第二束光用作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装在传感器内的横向疚光电二级管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降低到zui小，从而保证测量仪的长期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到zui小。 

 

美国API激光干涉仪XD Laser的特点：

¾ 一次安装能测量6项精度指标
¾ 包括线性定位误差、 XX及YY两个方向直线度、
¾ 偏摆角、俯仰角、滚动角
¾ 把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
¾ 两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速
¾ 传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间； API干涉仪只约需半天!
¾ 测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试