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产品简介
详细介绍
HD-2700带有球差校正的场发射扫描透射电子显微镜
电镜球差校正技术的实用化，使得同时进行超高分辨率观察和超高灵敏度分析成为可能。日立高新技术公司与CEOS公司共同的努力，成功地开发出了新一代扫描透射电子显微镜（STEM）。
HD-2700通过球差校正，用大会聚角获得了亚纳米级电子束，在分辨率和分析性能获得重大的进步。
HD-2700共有三种型号，分别是配有球差校正的高分辨型和标准型，以及无球差校正型，可根据应用需求选择。
特点：
1. 高分辨观察
*利用金颗粒保证0.144nm分辨率DFSTEM像（标准型）
2.增加了探针电流（约为非校正的STEM探针电流的10倍），可以进行高速、高灵敏度能谱分析
*可以在更短的时间内获得元素的面分布图
*检测微量元素成为可能
3.简化的操作
*提供了的GUI自动调节球差校正器
4.整体的解决方案
*样品杆与日立FIB兼容，提供了纳米尺度的整体解决方案：从制样到数据获得和zui终分析
5.多种评价/分析功能可选
*同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统（DF-STEM像可以同时获得）
*实时衍射（DF-STEM像和衍射像可以同时观察）
*低剂量功能可以减少由电子束造成的样品破坏/污染
*可以配备超微柱头样品杆进行三维分析（360度旋转）
*精确的放大倍率校准功能
技术指标：
项目 描述
分辨率
（晶格分辨率） 1、配有球差校正的标准型 0.144nm，电子枪：冷场或热场
2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm，电子枪：冷场
3、无球差校正型 0.204nm，电子枪：热场 加速电压 200KV 放大倍率 100x -10,000,000 图像模式 图像模式 相衬度像（TE像）
原子序数衬度像（ZC像）
电子衍射花样（可选）
特征X射线像（可选 ：EDX）
EELS像（可选 ：ELV-2000） 电子光学 电子枪 场发射电子源，内置阳极加热器
透镜系统 两级聚光镜、物镜、投影镜
球差校正器 六极/传输 双重（标准型和高分辨型）
扫描线圈 两级电磁线圈
电位移 0.5μm 样品杆 类型 侧插式
移动范围 X,Y=±1mm，T=±30°（单倾样品杆） 操作系统 Windows XP
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