光伏（太阳能电池板）

牛津仪器利用本公司灵活而功能强大的设备开发了大量光伏（太阳能电池板）生产的工艺，并拥有关键技术。

光伏应用示例

• 抗反射涂层
• 明导电膜
• 基本材料
• 光子晶体
• 刻蚀透镜
• 器件隔离
• 边沿隔离刻蚀
• 界面缺陷钝化

其他主要优点：
• 高真空化学气选项可用于处理器和化学气相沉积，降低对背景底色的污染。
• 超高频远程等离子体化学气相沉积选项用于损害敏感表面沉积
• 软件内部的功率斜坡的灵活性，尽量减少启动过程的潜在危害
• 耐高温衬底表选项高达800℃
• 折射率用于调整单个或多个层抗反射涂层，从而提高电池的功率
• 低针孔密度用于避免短路，特别是对大面积太阳能电池

例如光伏应用示例包括：
• 抗反射涂层
• 明导电膜
• 基本材料
• 光子晶体
• 刻蚀透镜
• 器件隔离
• 边沿隔离刻蚀
• 界面缺陷钝化

原子层沉积表面钝化
表面钝化是晶体硅太阳能技术的关键所在。通过等离子原子层沉积将内置的于超薄铝氧化层的大量负等离子发生沉积，这样可以几乎*消除在太阳能电池表面电子的损失。

原子层沉积透明导电氧化物（TCO）
氧化锌是一种透明导电氧化物，以高度控制和共形的方式由原子层沉积保存
氧化锌：铝原子层沉积非常适合为降低电导而掺杂少量铝的过程控制

Oxford Instruments原子层沉积性能

•经证实的太阳能电池技术的工艺性能
•为物理气相定制的FlexAL® （进样） and OpAL^TM （开放进样）工具的应用
•经证实，这不仅对远程等离子体源造成低伤害，同时还产生高密度等离子体保证膜层高质量
•通过盒到盒晶片传送可以按比例放大

由原子层沉积为n-型晶体硅太阳能电池上前钝化的铝的使用转换效率体现了显著的改善。1由PECVD沉积的氧化铝和氮化硅或氧化硅堆积已证明是一种有效的组合钝化。

使用FlexAL工具高效率太阳能电池

使用FlexAL工具的高效率太阳能电池
通过在太阳能电池的前端把超薄氧化铝层应用在n型硅的基础上，记录效率已验证了PERL太阳能电池。此项研究是在埃因霍温理工大学进行的。所有数据归埃因霍温理工大学所有。

长寿命的*性

生命期由一个直径100毫米的p型晶体硅晶片映射，30纳米氧化铝等离子钝化并由ALD沉积。

透明导电氧化物的物理气相沉积（TCO）
铟锡氧化物沉积物理气相沉积
溅射沉积与电阻率下降到3x10 - 4欧姆厘米，光投射高达92％。溅射沉积应用于许多光电设备进行铟锡氧化物沉积，是zui为受青睐的方法。牛津仪器公司使用*商业通用的陶瓷氧化物，专门开发了脉冲直流电磁电管工艺沉积铟锡氧化物膜。

本公司现货产品

MX6复合气体检测仪    现货美国英思科M40四合一气体检测仪

TN3红外测温仪     fluke 59mini红外测温仪   照度计 CENTER337   tx2000 h2氢气检测仪   HI93734-01余氯、总氯（Cl2）配套试剂    HI93735-01总硬度配套试剂

3011食品中心温度计  FD216测氡仪土壤取样器  HGY2058在线电磁式酸碱浓度计

HGY2018在线PH计   RE5299 旋转蒸发器  AR3130电子天平   SA1200（P）空气消毒机

YSI85-10 手提式野外水质测量仪  DO200在线溶解氧测定仪   YSI556MPS型多参数水质检测仪  3M6800防毒面罩  美国华瑞PGM-2400 四合一复合式气体检测仪  YSI3100 电导率仪   HT10S烟气黑度照相测定仪  正压式空气呼吸器   COD-571-1型消解装置

PPMhtv甲醛检测仪  AD102农药检测卡  DYM3型空盒气压表 PROVA5637钩式接地电阻计   

PRM-3040射线检测仪  美国MSA 10108311欧特防护眼镜   PGM-1700 硫化氢便携式气体检测仪   MIC-800-CO2便携式二氧化碳检测报警仪    MIC-500-CH4O 甲醇探测器

YSI 550A型便携式溶氧仪  TES-1360A温湿度计   GM1357声级计

PGM-7840复合气体检测仪   GDYS-102SJ尿素测定仪   GDYS-101ST铁测定仪

GDYS-101SC2臭氧测定仪   GDYN-110SA农药残毒快速检测仪（10通道）

GDYS-101SC2臭氧测定仪  D3A激光测距仪

本月*产品

现货美国英思科M40四合一气体检测仪  M40硫化氢传感器  PGM-7840复合气体检测仪   PGM-6208 6合一气体检测仪   FGM-1100 IR 可燃气在线监测仪

PRM-1200（DoseRAE 2）射线检测仪   FGM-3300 环氧乙烷（ETO）气体检测仪

M40一氧化碳传感器     M40氧气传感器   PGM-1600可燃气体报警仪

对关键参数和趋势，如压力，氧气/氩气流量的比率已经确定。这个工艺可以通过调整，以得到*性能的膜片。
低电阻率下降达到3.0x10 - 4Ωcm，同时可见光到近红外光高达> 90%的情况下的保持高透射率。

表面纹理的ICP蚀刻
产生于PlasmalabSystem100 ICP380的黑硅表面纹理可用于减少低于2％光的反射的损失。

表面分析（AES/AFM/EDX/TEM）已经证实，Si是一种由针构成基本结晶性衬底的物质。

氮化硅防反射层和钝化层的等离子体增强化学气相沉积

在没有使用抗反射涂层的情况下，高达30％的阳光可以反射。工艺可以进行调节，以得到一系列的折射指数和氢含量。
折射率调整为单层或多层抗反射涂层的可提高电池效率。

非晶态硅沉积高频的等离子体增强化学气相沉积

天然气化学或者动力学是非晶硅光伏应用的重要因素。牛津仪器公司等离子体技术为具可行性工艺方案提供了更广的范畴，这些方案不仅可以影响散装薄膜的性能，还会影响等离子物种在表面或界面的撞击。

各种气体的化学性质和来源选项包括射频，超高频射频以及远程或下游等离子体。

远程等离子体增强化学气相沉积

•各种离子源可供选择
•5 × 1011 /平方厘米的高密度等离子体
•减少了表面离子损伤
•通过传输板控制离子流（已申请）
•降低温度沉积的高品质薄膜

热表选项
• 带屏蔽辐射的高温表选项可用
• 包含一个双加热器组装，优化温度均一性
• 低于40分钟内快速升温到700℃

软件
工艺工具软件
牛津仪器PC2000TM软件以其清晰和使用简单的特点，*，可用于工艺操作员的迅速培养，为工厂管理人员和服务人员提供了充分的储备。控制和监控工艺工具的前端可视化界面，用于自定义配置。

工艺工具软件的优点
能够从单一控制界面的操作控制工具组
• 能通过相同的软件写入、存储和调出工艺配方，并建成信息库
• 用户登录通过密码控制，设置不同用户访问权限和任务，用一键按钮实现全系统功能的操作。
• 连续的系统数据注册确保每一个晶片和进程运行数据的可追溯性
• GEM/SECS全兼容