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产品简介
详细介绍
| 原子层沉积的优点
| 周期 |
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| 1. TMA源 | |
| 远程等离子体的优点 除了具有热的优点，远程等离子体允许更广泛地选择用作源的化学品，同时还提高薄膜质量:
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| 2. TMA清洗 | |
| 的应用 包括:
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| 3. O2等离子体 | |
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| 4.短时间的后期O2等离子体清洗 |
牛津仪器的工具
| 特征 | OpAL™ | FlexAL ® |
| 衬底 | zui大到200mm直径晶片，小片可直接装载 | zui大到200mm直径晶片，小片需放置在一块载片板上 |
| 鼓泡的液体和固体源 | zui多3个 | zui多4个 |
| zui高的源温度 | 200oC（外套） | 200oC（烘箱和外套） |
| 晶片传送（包括源坩埚） | 包括 | 包括 |
| 具有快速传送系统的质量流量计控制的气体管线 | 内部2个，外部zui多8个安装好的气箱 | 外部zui多8个安装好的气箱 |
| 等离子体 | 配件/现场升级 | 配件 |
| 进样 | 开放进样 | 真空进样室或进样盒 |
| 和其他工艺模块的联接 | 不能 | 可以-包括作为特殊配件的第三方MESC模块 |
| 载片台的温度范围 | 25ºC – 400ºC | 25ºC – 400ºC （550ºC 可选备件） |
| 椭偏仪端口 | 有 | 有 |
| Swagelok10毫秒快速脉冲阀 | 有 | 有 |
本公司现货产品
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本月*产品
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