您好, 欢迎来到化工仪器网
射频驱动(兆赫兹和/或千赫兹)的顶电极；底(衬底)电极上没有射频偏压
衬底直接置于加热电极上
气体通过顶电极上的喷淋头式进气口进入反应室
工作压强0.5-1.0托
功率密度0.02-0.1Wcm-2
产品简介
详细介绍
Benefits 优点
- 和传统的化学气相沉积相比工艺温度更低
- 通过高/低频混合技术可以控制薄膜应力
- 具有结束点控制的等离子体干法清洗工艺减少或杜绝了物理/化学清洗反应室的需要
- 通过工艺条件来控制化学计量
- 提供广泛的材料沉积，包括：氧化硅、氮化硅和氮氧化硅的沉积，它们广泛应用于光子结构、钝化、硬膜等。
- 非晶硅（a-Si：H）
- 具有保形台阶覆盖或无空隙良好台阶覆盖的正硅酸乙酯二氧化硅
- SiC 碳化硅
- 类金刚石膜
牛津仪器的PECVD工具
本公司现货产品
MX6复合气体检测仪 现货美国英思科M40四合一气体检测仪
TN3红外测温仪 fluke 59mini红外测温仪 照度计 CENTER337 tx2000 h2氢气检测仪 HI93734-01余氯、总氯（Cl2）配套试剂 HI93735-01总硬度配套试剂
3011食品中心温度计 FD216测氡仪土壤取样器 HGY2058在线电磁式酸碱浓度计
HGY2018在线PH计 RE5299 旋转蒸发器 AR3130电子天平 SA1200（P）空气消毒机
YSI85-10 手提式野外水质测量仪 DO200在线溶解氧测定仪 YSI556MPS型多参数水质检测仪 3M6800防毒面罩 美国华瑞PGM-2400 四合一复合式气体检测仪 YSI3100 电导率仪 HT10S烟气黑度照相测定仪 正压式空气呼吸器 COD-571-1型消解装置
PPMhtv甲醛检测仪 AD102农药检测卡 DYM3型空盒气压表 PROVA5637钩式接地电阻计
PRM-3040射线检测仪 美国MSA 10108311欧特防护眼镜 PGM-1700 硫化氢便携式气体检测仪 MIC-800-CO2便携式二氧化碳检测报警仪 MIC-500-CH4O 甲醇探测器
YSI 550A型便携式溶氧仪 TES-1360A温湿度计 GM1357声级计
PGM-7840复合气体检测仪 GDYS-102SJ尿素测定仪 GDYS-101ST铁测定仪
GDYS-101SC2臭氧测定仪 GDYN-110SA农药残毒快速检测仪（10通道）
GDYS-101SC2臭氧测定仪 D3A激光测距仪
本月*产品
现货美国英思科M40四合一气体检测仪 M40硫化氢传感器 PGM-7840复合气体检测仪 PGM-6208 6合一气体检测仪 FGM-1100 IR 可燃气在线监测仪
PRM-1200（DoseRAE 2）射线检测仪 FGM-3300 环氧乙烷（ETO）气体检测仪
M40一氧化碳传感器 M40氧气传感器 PGM-1600可燃气体报警仪
| 特征 | Plasmalab System80Plus | Plasmalab System800Plus | Plasmalab System100 | Plasmalab System133 |
| 电极尺寸 | 240mm | 460mm | 240mm | 330mm |
| 进样方式 | 开放进样 | 开放进样 | 真空进样 | 真空进样 |
| 衬底 | 见产品手册 | 见产品手册 | 8英寸，可以选择多片或小片的载片台 | 12英寸，可以选择多片或小片的载片台 |
| 掺杂剂 | 不行 | 不行 | 包括PH3，B2H6和GeH4在内的多种掺杂剂 | 包括PH3，B2H6和GeH4在内的多种掺杂剂 |
| 液体源 | 不行 | 不行 | 可以，正硅酸乙酯 | 可以，正硅酸乙酯 |
| 质量流量计控制的气体管线 | 可使用8或12根管线 | 可使用8或12根管线 | 可使用8或12根管线 | 可使用8或12根管线 |
| 用于应力控制的射频转换开关 | 可以 | 可以 | 可以 | 可以 |
| 载片台温度范围 | 20°C 到400°C | 20°C 到400°C | 标准的是20°C 到400°C，可选zui高到800°C | 标准的是20°C 到400°C，可选zui高到700°C |
| 在位等离子体清洗 | 可以 |
| 可以，结束点可控以获得*清洗时间 | 可以，结束点可控以获得*清洗时间 |
请点击这里 如果您希望得到更多的信息或帮助
其他推荐产品
更多产品-
¥11900
-
¥17000
-
¥40000
-
面议
-
¥44000