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良好的台阶覆盖率
针对高质量Al(含Si/CuTi)、TiN、TiW的标准方法
Z大 4 x 200mm 或 8 x 75mm阴极
衬底置于旋转座上
衬底座可以水冷却/加热(Z高400oC)
预刻蚀和射频偏压
参数：气流、压强、射频功率
产品简介
详细介绍
典型应用：
- 高质量Al（含Si/Cu/Ti）
- 扩散阻挡层TiN、TiW（反应溅射）
- 电阻薄膜 （NiCr、TaN）
- 贵金属：Au、Pt
| 特征 | System400 | System100 |
| 磁控管尺寸 | zui大200mm | zui大200mm |
| 磁控管个数 | 4 x 200mm | 单个 |
| 射频和直流选择 | 可以 | 可以 |
| 射频偏压 | 可以 | 可以 |
| 进样 | 真空进样 | 真空进样 |
| 衬底 | 见手册 | 见手册 |
| 质量流量计控制的气体管线 | 典型的zui大到4个 | 典型的4个 |
| 载片台温度范围 | 20到300ºC |
|
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