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产品简介
详细介绍
| 使用Ionfab300Plus （LC）的HfO2 RIBD技术
注释： 1. 边缘有5mm的范围，均匀性的描述见下文 2. 沉积速率达到zui大速率的50％以上时，应力和均匀性仍然可以得到保证 |
Ionfab 300Plus for HfO2 RIBD |
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