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190次BTL7-P711-M0700-B-S32巴鲁夫位移分析方法
耐高温
为缩短抽真空时间和获得较高真空度，真
空腔需要加热到100 °C甚至更高的温度。
因此，附着在编码器外壳上的水分子将被
气化并被快速抽除。为此，真空应用的编
码器必须能承受100 °C甚至更高的温度。
超净
真空腔中的编码器必须经过特别清洁处理，
保持高清洁度。大多数润滑脂和润滑油，
甚至指印，在真空中都渗出气体，因此都
不允许存在。否则，可能逸出细小颗粒或
灰尘，例如造成被检查的微电子电路板损
坏或影响实验结果。为此，在编码器生产
过程中和包装过程中，全面满足超净的特
殊要求。
海德汉在超净车间中生产真空应用的编码
器。包装也采用特别的设计。编码器采用
双重包装，密封前在包装内充入氮气。
电气连接
海德汉编码器的接头能方便地穿入真空腔
外壳。
LIP和LIF系列直线光栅尺需要接口电子电路
将信号转换成1•VPP。该接口在D-sub接头
内。接口电子电路直接安装在高真空应用
的设备上。对于超高真空应用，接口电子
电路必须在真空腔外。因此，高真空应用
的LIP和LIF提供两种版本的电缆。读数头与
接口电子电路间的电缆长度可达3米。
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