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光学镀膜系统

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更新时间:2023-11-13 13:49:51浏览次数:1257次

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产地类别 进口 应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
光学镀膜系统:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

光学镀膜系统概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

 

光学镀膜系统应用

  • 光学涂层
  • 溅射
  • 离子束辅助沉积
  • 离子束刻蚀清洗
  • 离子束辅助反应刻蚀
  • 红外涂层
  • 表面处理

 

光学镀膜系统产品特点:

  • 射频偏压样品台
  • 膜厚监测仪
  • 极限真空5x10-7Torr
  • 高精度及高重复性
  • 高品质膜层
  • 原子级的洁净表面
  • 原子级清洗和抛光
  • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
  • 自动上下载片
  • 两个腔体之间自动传送
  • 菜单驱动,4级密码访问保护
  • 完整的安全联锁
  • 占地面积46”D x 44”W

 

光学镀膜系统选配项:

  • 向下/向上溅射
  • 共溅射
  • DC,RF以及脉冲电源
  • 离子束辅助沉积
  • 电子束源
  • 等离子源

 

 

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