NAGANO KEIKI长野计器NKS半导体用压力表

GW28 NAGANO KEIKI长野计器NKS半导体用压力表，面向半导体集成化进程，在半导体高纯度气体及腐蚀性气体的气氛等条件下也能发挥优异的性能。是对气密性·清洗度也充分考虑被制作，半导体工艺等，特别适合高纯度流体的压力表。

GW28 NAGANO KEIKI长野计器NKS半导体用压力表
是在工厂内完善洁浄室，半导体设备适用的压力表
品牌：NAGANOKEIKI长野计器NKS
型号：GW28

GW28

半导体工业用压力表

面向半导体集成化进程

在半导体高纯度气体及腐蚀性气体的气氛等条件下也能发挥优异的性能。

是对气密性·清洗度也充分考虑被制作，半导体工艺等，特别适合高纯度流体的压力表。

GW28 NAGANO KEIKI长野计器NKS半导体用压力表

特性

φ28大小的小直径类型可帮助节省集成装载的空间。

由于接气部与以往C形布尔登管相比为单纯的隔膜式，因此清洗和气体冲洗容易是能做的构造。

与现有产品（小型布尔登管式）相比，接气部内容积约为1/2，气体滞留的死区（接气部内容积）大幅降低。

＊选择压力表时，为了充分发挥性能，将压力范围设为常用压力的上限在以下范围

请选定。

定压力时：压力范围Max.值的3/4以下。

变动压力时：压力范围Max.值的2/3以下。

另外，请确认记载的接气部材质符合测定流体。

详细情况请看JIS B 7505-1。

GW28 NAGANO KEIKI长野计器NKS半导体用压力表