○ 非接触式、无损测量

激光扫描显微镜（LSM）采用低功率激光，不接触样品。因此，不像基于探针系统的接触式表面粗糙度测量仪那样存在损坏样品的风险。

○ 无需前期准备即可成像

扫描电子显微镜（SEM）在观察之前需要进行前期的样品准备，如真空脱水和/或切片处理，使之适合样品室。而LSM则无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且，将样品放置在载物台上之后，即可直接开始成像。

○ 在XY平面精确测量亚微米级的距离

干涉仪是基于普通白光的光学显微镜，它的平面分辨率不高。而LSM通过采用更大数值孔径的物镜和更小波长的光波，极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术，获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像，LSM可以进行非常精确的XY平面亚微米测量。LEXT OLS4100达到了0.12μm的平面分辨率。

○ 在Z方向上精确测量亚微米级的高度
 

SEM可以拍摄到超高分辨率的影像，但是无法得到高度信息。LSM采用短波长半导体激光和*的双共焦光学系统，会删除未聚焦区域的信号，只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力，可以生成高画质的影像，实现精确的3D测量。LEXT OLS4100达到了10nm的高度分辨率。